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所属分类：密封百科
由于真空设备长期运转及其它一些因素的影响，扩散泵的性能可能会逐渐变坏，现将使用中经常出现的一些问题如述如下;
1)极限真空变低，原因：
a.系统中有渗漏；
b.系统太脏；
c.泵油污染；
d.加热功率不够；
e.冷却水不足；
f.过量或过冷的冷却水；
h.快冷管内有水。
2) 抽气较慢，原因：
a.加热功率低；
b.油量不足；
c.喷帽安装位置不当或受损。
3)进口压力波动，原因：
a.加热器输入功率不当；
b.油脱气；四五设计网www.45te.com
c.扩散泵进口前面系统有渗漏。
4)工作腔污染大，原因：
a.前级压力高；
b.在高于10-1Pa压力下长期工作；
c.系统操作有误。九牛自学网www.9npx.com
5) 返油率过大，原因：
a. 顶喷嘴帽松动，间隙过大；
b. 加热功率不对；
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