油扩散泵的工作原理与结构 密封百科

油扩散泵的工作原理与结构

油扩散泵的工作原理与水蒸汽喷射泵相似,都是靠高速蒸汽射流来携带气体以达到抽气的目的,故有如水蒸汽喷射泵相似的特点。 不同点是扩散泵工作在高真空区域,其工作压强范围为10-2~10-6pa。广泛用于电子...
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