1、分子泵中的磁悬浮轴承 轴承是分子泵的关键部件。轴承的质量、性能和寿命直接影响分子泵的性能和使用寿命。现阶段常见的分子泵轴承有滚珠轴承和正在发展中的磁悬浮轴承。磁悬浮轴承是利用磁力作用将转子悬浮于空...
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机械密封件
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